دانلود کتاب Handbook of Chemical Vapour Deposition
by Hugh O.Pierson
|
عنوان فارسی: هندبوک رسوب شیمیایی بخار |
دانلود کتاب
جزییات کتاب
یک فرایند شیمیایی است که به منظور ایجاد یک لایه با کیفیت و با کارامدی بالا بر روی سطح استفاده می شود.این تکنیک اصولا توسط صنایع تولید کننده قطعات نیمه رسانا برای تشکیل یک فیلم نازک مورد استفاده قرار می گیرد. در این روش، پیش ماده ها تبخیر شده و وارد راکتور می شوند. در این راکتور مولکول های پیش ماده جذب سطحی زیرپایه می شوند. معمولا دمای زیرپایه در محدوده خاصی تنظیم می شود. مولکول های جذب شده، یا در اثر حرارت تجزیه می شوند و یا با گازها و بخارات دیگر واکنش داده و فیلم جامدی را روی زیرپایه تشکیل می دهند. واکنش هایی که روی سطح زیرپایه انجام می شود، واکنش های ناهمگن هستند. این فرآیند از انعطاف پذیری بالایی برخوردار است و برای ساخت بسیاری از مواد مانند فلزات، مواد {{نیمه رسانا}} و سرامیک ها به کار می رود.