دانلود کتاب Principles of Plasma Discharges and Materials Processing
by Michael A. Lieberman
|
عنوان فارسی: اصول تخلیه پلاسما و پردازش مواد |
دانلود کتاب
جزییات کتاب
پلاسما گازی شبهخنثی از ذرات باردار و خنثی است كه از خود رفتارِ جمعی ارائه میکند. در پلاسما، گاز بهشدت یونیزه شدهای ایجاد میشود كه همه یا بخش قابلتوجهی از اتمهای آن یك یا چند الكترون از دست داده و به یونهای مثبت تبدیل شده باشند.
این کتاب در خصوص اصول اولیه یونش جزئی، واکنشهای تخلیهی شیمیایی پلاسما و کاربرد آن در فرایندهای لایهی نازک بحث میکند.
نشاندن لایههای نازک از ابعاد چند آنگستروم، بر روی سطح مواد، قابلیتهای منحصربهفردی را به خواص فیزیکی ماده میافزاید که در تکنولوژیهای جدید بسیار مورد نیاز است.
این شاخه از علم، ترکیبی است از چندین رشتهی فیزیک پلاسما، علم سطح، شیمی حالتِ گاز و فیزیک اتمی و مولکولی.
زمینهی مشترک این شاخهها، مربوط به ایجاد حالت پلاسماها و استفاده از آن برای فعال نمودن زنجیرهای از واکنشهای شیمیایی بر بستر سطح (سطح هدف لایهنشانی) میباشد.
بحث عمدتاً به تخلیهی الکتریکی در فشار بسیار پایین محدود میشود که در آن سطح، بدون گرمشدن، انرژی لازم برای فعالشدن را دریافت میکند.
سطوح بر پایهی پلاسما، بطور گستردهای در ساخت مدارهای مجتمع الکترونیکی پیشرفته مورد استفاده برای صنایع فضایی و زیستفناوریها بهکار گرفته میشوند.
این کتاب مشتمل بر ۱۸فصل میباشد که
در فصل۱، به معرفی، تعاریف و نمادگذاریها میپردازد.
در فصل۲، معادلات پلاسما در حالت تعادل و خواص آن مورد بحث قرار میگیرد.
فصل ۳، به بررسی برخوردهای بین اتمی، پراکندگیها و تبادل انرژی اختصاص یافته است.
فصل ۴، به داینامیک پلاسما، انتشار امواج الکترومغناطیس و اختلال میپردازد.
فصل ۵، در خصوص فرایندهای پخش و انتقال میباشد.
و در ادامهی فصول کتاب مطالبی از قبیل واکنشهای شیمیایی، برخوردهای مولکولی، جنبشهای شیمیایی و فرایندهای سطحی، ذرات و توازن انرژی در تخلیهی الکتریکی و ظرفیت تخلیه مورد بحث و بررسی قرار میگیرند.
در مجموع، این کتاب در سطح تخصصی جهت استفادهی دانشجویان رشته فیزیک، فوتونیک، شیمی، الکترونیک و مهندسی مواد تالیف شده و دانستن مبانی الکتروداینامیک برای فهم این کتاب مورد نیاز میباشد.