دانلود کتاب Silicon VLSI technology: fundamentals, practice, and modeling
by James D. Plummer, Michael Deal, Peter D. Griffin
|
عنوان فارسی: تکنولوژی سیلیکون VLSI : اصول ، عمل، و مدل سازی |
دانلود کتاب
جزییات کتاب
این کتاب منحصر به فرد است، این کتاب یک دیدگاه یکپارچه از تکنولوژی سیلیکون را که با تاکید بر شبیه سازی کامپیوتری مدرن می باشد را ارائه می دهد. در این کتاب نه تنها عملیات تولید مربوط به فن آوری های مورد استفاده در تولید تراشه سیلیکون بلکه مبنای علمی برای این فن آوری ها را نیز توصیف می کند. تکنولوژی CMOS مدرن، رشد کریستال، تولید ویفر یا قرص(Wafer) و ویژگی های اصلی ویفر سیلیکون، تولید نیمه هادی - اتاق تمیز، تمیز کردن ویفر و حذف ناخالصی ها با یک گیرنده(Gettering). لیتوگرافی اکسیداسیون حرارتی و رابط Si / SiO2 و انتشار یک ماده که سبب ایجاد ویژگی الکتریکی خاصی می شود(Dopant) مطرح شده است همچنین به القای یونی ،انتشار فیلم نازک و Etching نیز اشاره کرده و در کل برای هر کسی که علاقه مند به فرآیند ساخت و ساز می باشد کتاب جالبی است.