دانلود کتاب Scanning Electron Microscopy: Physics of Image Formation and Microanalysis
by Professor Dr. Ludwig Reimer (auth.)
|
عنوان فارسی: میکروسکوپ الکترونی روبشی: فیزیک سازند تصویر و میکروآنالیز |
دانلود کتاب
جزییات کتاب
میکروسکوپ الکترونی روبشی که SEM نیز نامیده می شود یکی از روش های آنالیز مواد است که در بررسی سطح نمونه ها کاربرد دارد. زمانی که نمونه در معرض تابش یک پرتو الکترونی کوچک که یک پروب نامیده می شود، قرار می گیرد، الکترون های ثانویه از سطح نمونه ساطع می شوند. توپوگرافی سطح را می توان با اسکن دوبعدی پروب الکترونی روی سطح و به دست آوردن یک تصویر از الکترون های ثانویه شناسایی شده، مشاهده کرد. اساس کار میکروسکوپ الکترونی روبشی بر ۳ اصل زیر استوار است:
اندرکنش یا تاثیر متقابل پرتو الکترونی و مواد
امکان تولید و کنترل مشخصه های پرتو الکترونی روبشگر در میدان های الکتریکی و الکترومغناطیسی
امکان آشکارسازی پرتوهای ساطع شده از سوی ماده در اثر اندرکنش آن با پرتو الکترونی ورودی