دانلود کتاب MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
by Dr.-Ing. Markus Glück (auth.)
|
عنوان فارسی: MEMS در تکنولوژی مایکروسیستمز: ساختار، مکانیسم عمل، تولید و استفاده عملی از مدارهای میکرو الکترومکانیکی و سیستم سنسور |